西光所-汪韬(半导体材料与器件及设备)

1、MOCVD设备

   MOCVD设备作为化合物半导体材料研究和生产的手段，特别是作为工业化生产的设备，它是别的半导体设备无法替代的。它的高质量、稳定性、重复性及多功能性越来越为人们所重视。它是当今世界上生产半导体光电器件和微波器件材料的主要手段，如激光器、发光二极管、高效太阳能电池、光电阴极等，是光电子等产业不可缺少的设备。西安光机所在MOCVD设备研制方面处于国内领先水平。拥有十几年的MOCVD设备制造经验和技术积累，先后制造出了两代单片式结构MOCVD设备（常压型和低压型），拥有自主知识产权，现有MOCVD设备低压旋转衬底座专利，我们研制的单片结构低压旋转衬底座反应室MOCVD设备获国家新产品证书，产品已在国内推广、销售。

2×2（cm2）GaInP/GaAs/Ge高效级联太阳能电池

   空间用太阳能电池要求具有高的光电转换效率、重量轻和低成本。目前Si(14%)和GaAs(18%)太阳能电池各自有不同的缺点,不能满足未来卫星的要求。GaInP/GaAs/Ge 高效级联太阳能电池(22%)是空间太阳能电池的发展方向之一,因此，为了提高太阳能电池的光电转换效率，降低成本，在Ge衬底上用MOCVD技术研究GaInP/GaAs/Ge 高效级联太阳能电池，已经获得面积为2×2 cm2,效率达18%(AM0, 25℃)的GaAs/Ge太阳能电池。

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